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基本解释自对位，自准(集成电路工艺用)

网络释义

1)artoregistration,自对位，自准(集成电路工艺用)2)self aligned integraed circuit,自对准集成电路3)Fully self-aligned process,全自对准工艺4)silicon gate self-aligned technology,规栅自对准工艺5)diffusion self-aligned technology,扩散自对准工艺6)metal self aligned process,金属自对准工艺

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