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基本解释
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1)bias sputtering system,偏压溅镀系统
2)sputtering system,溅镀系统
3)sputter-gun sputtering system,溅射枪溅镀系统
4)co-sputtering system,共同溅镀系统
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6)magnetron sputtering system,磁控管溅镀系统
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